半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目游戏 背景
该产业链园密集了十余家光电器件相关品牌,方案日整理本事5000吨,需用整理发源有所不同品牌的分层生活污水。仍然各品牌加工方法不一致性大,生活污水部分繁多千变万化,整理的难度较高。
污废水 成份及来历
废气最主要的其中有四种类:高酸度有机会质废气(光刻胶、成像液等)、含氟废气(刻蚀生产工艺)和酸碱度废气(家电清洗生产工艺)。特出成分表其中有异丙醇、四甲基氢被氧化铵等难可降解有机会质物,及氟化物、化学需氧量等三聚氰胺树脂的工业废气。废气COD上下波动大(500-3000mg/L),氟化物酸度100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
治理 技术步奏
应用"进行分类搜集+分质治理+一起的深度治理"的自主创新的模式:
厂家的内部分类整理预解决:含氟废渣直接整理并预解决
经济区污水管道分级输送管系统软件
基础性调接池均衡化水质量
多级混凝土滤渣清理悬浮物物和电解质溶液
高效性生态学不起作用器(HBR)正确处理巧妙空气工业废气
臭氧的危害崔化硫化吸附难吸附卤素元素物
反覆盖设备展开脱盐进行处理
太阳极为线消毒杀菌有效确保出液安全卫生
很设立了在线免费监测方案设备和半自动投药设备,处置水质量浮动。
结果是感觉
装置运转几年来,治疗特效安全稳定牢靠。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,提升地面水Ⅳ类标准的,部份循环于居民小区环卫绿化及冷却后塔补充水分,循环率突破30%。次年缩短优质水食用约5万吨,为居民小区公司企业最省电费数千万块。