半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
工程蓝本
该半导体芯片公司企业坐落在长江三角洲形各地,通常产出8英尺和12英尺晶圆,日减排废蓄水量约2000吨。鉴于产出鑫霖环保繁多,废硫酸铜溶液内含各种各样难分解有机酸物和血本属亚铁离子,以往治理的方法没办法达到进一步严谨的减排标准。
生产废水组成成分及源
化工化工污电镀废污水 其主要因素于几个教学环节:晶圆切除器化工化工污电镀废污水 比较丰富大量的硅粉和切除器液杂质;生物学机械设备抛光处理化工化工污电镀废污水 比较丰富电解质溶液硅和机磨科粒;刻蚀擦拭化工化工污电镀废污水 比较丰富氟化物、铜铝离子等血本属;光刻新工艺化工化工污电镀废污水 则比较丰富光阻剂等生产废弃物物。水质标准优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物渗透压高(200-400mg/L)、飘浮物多且比较丰富微量分析血本属。
清理制作工艺具体步骤
运用"化学预加工除理+生化模式加工除理+程度加工除理"的組合工艺流程:
自动调节池均衡教育水质监测的水量
沥青混凝土石雕文化沉淀快速清理悬屏物和悬浊液材质
生物沉垫法专门针对处置氟化物,污泥脱水钙盐养成氟化钙沉垫
溶解硝化作用池从而提高废水处理工艺可血生化性
打交道空气氧化池挥发有机质危害物
催化活性碳吸咐塔开展深层次净化处理
膜分離体系抓实水流饮用水稳定的
造成含铜废水处理独自设施亚铁离子对调体统,收购有实用价值的金属质铜。
不可能结果
工程项目俊工后进行动态平衡,留水COD<50mg/L,氟化物酸度<5mg/L,铜正离子酸度<0.3mg/L,每项原则均不同于国家《电子厂工艺水危害物尾气的排放出原则原则》(GB 39731-2020)。常年可下降COD尾气的排放出原则约300吨,氟化物尾气的排放出原则约50吨,收购铜金属制约2吨,确保了场景社会盈利能力与经济社会社会盈利能力的共利。