成都某半导体技术集成ic生呈现产厂，晶圆加工处里流程中呈现含硅、氟的异常污水，的设计处里规模性1200吨/日。污水因素复杂性，具有纳米技术级硅小粒及氢氧化钠，传统文化处里形式难考核标准。 废液部分及因素 注意环境有害物质 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm孔径）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历繁琐流程 ：晶圆刻蚀生产废水处理方法（45%）、CMP药剂学机打磨生产废水处理方法（40%）、装备清洗道路水（15%） 外理加工制作工艺 流程图 科技创新用到"化工凝固+特中膜分离法"的技术线路： 钙盐滤渣 ：污泥脱水氯化钙清除氟化合物（转换CaF2沉定） 斜板沉淀池体现 ：和好斜板沉淀池剂实现了氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜截流微细粒子 超滤工作会更设备 ：脱盐率>98%，收旧率75% 化掉沉淀 ：浓水段达成氟化物零排出 之后感觉 氟化物盐浓度：<8mg/L（底于地方第一细则10mg/L） 硅分量：<5mg/L 水材料回收率：70%用作冷凝塔皮肤补水 危险废弃物减药：多效蒸发残留量较传统的的工艺减轻60%