某光电器件生产制造企业公司因晶圆洁净程序导致含氨废水外理方法,用水量200吨/天。废水外理方法中除挥发酚外还具有刺激性氟化物和轻微巨资属,外理難度大。当地城市污染物标准的规范挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
电镀废水部分及的来源
晶圆擦拭工业废水(常见来自):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工艺化工废水:含微量分析铜、镍等血本属,pH值下跌大
CMP打磨废水处理工艺:含硅颗粒肥料及氯离子
净化处理加工制作工艺 过程
用于"化学反应滤渣+膜提取+折点氯化"组合名字加工制作工艺 :
预补救
:污泥脱水CaCl2除氟,调节pH在7.5-8.
超滤膜设计
:出掉0.01μm综上所述顆粒物
反参透浓缩提炼
:将化学需氧量原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L这
折点氯化
:精确度调控氯加药系统量,将氟化物转化成为氢气
正离子交互
:担保巨资属标准
结果功效
氟化物安稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含氧量降至验测限
水回收利用率达75%
飞灰诞生量避免40%