某半导体行业基带芯片制作厂在晶圆制作加工方式中,在使用硅烷进行硅外加生長,废气洗滌塔引起高渗透压含硅污水。污水兼备pH起伏较大大(2-11)、硅水分含量高的优点和缺点,常用外理最简单的方法易出来硅垢堵塞了故障。
废水处理有效成分及渠道
生活污水注意组成为:
溶解完性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢被氧化钠
:洗衣塔腐蚀性洗衣液农药残留
顆粒硅
:奈米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:材料悬浮物带往
净化处理技术操作流程
研发用"有级中合+膜筛选+汽化心得"方法:
特一级结合
:用CaO调试pH至4-5,转为硅酸钙积淀,硅消除率60%。
2级结合
:加Na₂CO₃将pH上升至9,逐渐一个脚印沉垫乘余硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜体系
:0.02μm工业陶瓷膜过滤程序纳米级级硅颗粒剂,通量固定在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:溶缩高盐工业废水,心得出Na₂SO₄副成品,水回收利用率超90%。
进而作用
总硅从1500mg/L高于5mg/L以下的
砷含水量从0.8mg/L低于0.01mg/L
模式无水垢正常运行可超过2年
每人每年收购盐酸钠多晶体约800吨