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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业基带芯片制作厂在晶圆制作加工方式中,在使用硅烷进行硅外加生長,废气洗滌塔引起高渗透压含硅污水。污水兼备pH起伏较大大(2-11)、硅水分含量高的优点和缺点,常用外理最简单的方法易出来硅垢堵塞了故障。 废水处理有效成分及渠道 生活污水注意组成为: 溶解完性硅酸盐 :SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢被氧化钠 :洗衣塔腐蚀性洗衣液农药残留 顆粒硅 :奈米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :材料悬浮物带往 净化处理技术操作流程 研发用"有级中合+膜筛选+汽化心得"方法: 特一级结合 :用CaO调试pH至4-5,转为硅酸钙积淀,硅消除率60%。 2级结合 :加Na₂CO₃将pH上升至9,逐渐一个脚印沉垫乘余硅,串联用镁剂除砷。 反渗透膜体系 :0.02μm工业陶瓷膜过滤程序纳米级级硅颗粒剂,通量固定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :溶缩高盐工业废水,心得出Na₂SO₄副成品,水回收利用率超90%。 进而作用 总硅从1500mg/L高于5mg/L以下的 砷含水量从0.8mg/L低于0.01mg/L 模式无水垢正常运行可超过2年 每人每年收购盐酸钠多晶体约800吨

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