该厂为89英寸晶圆生产方式线智能化的超软水体统,没天导致含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属,但硅水平高易水垢,且内阻率需起到18MΩ·cm就能工業废水除理。本来的除工院艺無法需求新颁布法律的《网络工業水生态破坏物摆放标准单位》(GB39731-2020)特别摆放规定值。
废液组分特色
关键破坏物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm)
特种规定
:TOC<10μg/L,硼含磷量<5μg/L
水质量性能特点
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅化学物质底部形态繁复
办理施工工艺流量
企业创新运用"梯级膜离心分离+电去亚铁离子"团体艺:
微滤预外理
:1μm瓷质膜阻拦大颗粒剂硅,通量长期保持80LMH
阳离子相互交换树脂材料
:D201大孔硅橡胶可选择性粘附硅酸碳原子
下级RO机系统
:第一名段回收处理率60%,二段选择高脱硼膜部件
EDI电去阴离子
:电流值孔隙率2A/m²,将持续清理多余亚铁离子
分光光度计除臭
:254nm分光光度计线分子量40mJ/cm²
技巧闪光点
的开发常用阻硅剂(可挥发胺类包覆物),推迟膜生态破坏周期性3倍
EDI板块创新发展流道开发,硅消除率优化至99.8%
免费在线硅研究测试仪(精确测量条件0.1-500μg/L)保证 精准性的把控好
使用举措
经再者方监测:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼量从8μg/L低于0.3μg/L
机系统收废率从原40%提升自己至68%
膜更新时期延时至5年,年电脑运行的成本变低35%