顶目情况
武汉某半导体材料厂产出环节中另外诞生高硅污废污水 (SiO₂ 500-800mg/L)和含氟污废污水 (F⁻ 200-300mg/L)。每种污废污水 搭配而后容易导致氟硅酸电解质溶液,传统与现代化学奠定法仍未比较稳定考核规范。业务符合要求同步软件取除硅和氟(排放规范规范:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理成分表及从何而来
大部分有效成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来源地
:晶圆刻蚀废气处理工艺、CMP抛光废气处理工艺、设备擦拭水
除理加工过程程序流程
协作水解价段
:
多级表现池
:
一是级添加Ca(OH)₂提取CaF₂和CaSiO₃凝固;
第二点级加药PAC(聚合反应氯化铝)加强二沉池。
固液分割一阶段
:
超滤膜模式
:运用0.02μm口径膜零部件公款私存橡胶胶体部分硅和微细沉淀自己物。
深度的脱氟阶段中
:
特异性氧化反应铝气体吸附塔
:的残留物氟铝离子活性炭吸附取除。
不可能成果
出液SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远相对比较国家条件。
超滤膜平台通量不稳在15LMH,有机化学拆洗过渡期缩短至60天。
废水经压滤后含水分率<65%,可按一般来说固废处理预防。