该单位硅片研发的过程中出现四氟化硅(SiF₄)印刷废液,渗透压约150-300mg/m³,印刷废液中所含小量氟化氢(HF)和氮防氮化合物(NOx)。
加工处工院艺
:
应用“水吸收率+碱液结合+化学活化炭离心分离”加工制作工艺 :
水消化塔
:SiF₄碰到水发生反应转化成氟硅酸(H₂SiF₆)和HF。
碱液结合
:NaOH饱和溶液结合酸碱性物质,转换成Na₂SiF₆沉淀出的。
特异性炭吸附物
:进这一步彻底清除残渣氟化物及NOx。
启动体验
:
处里后的废气氟化物总氧化还原电位<3mg/m³,NOx<50mg/m³,符合《层结水的排放物总合的排放规定》(GB16297-1996)规范要求。
四、制造行业趋势分析分析与提升提升趋势分析
近年,含氟排放物工作技术性已对比成熟期,但制造业仍面临着下列挑战:
低直接费用高效化枝术需求分析
:当下湿法治理正常运作总成本较高,干法吸附性剂粉碎高技术待优化调整。
资原化再生利用
:如环保再生资源的回收氟硅酸提纯氟盐,实行有害垃圾资源的化。
智力化保持
:进行在线平台监测器与自主调节器,增进净化处理设备平稳性。
明天,跟着坏保原则趋严,含氟印刷废气工作将向
高化、低能效比、資源化
中心点进展,团体的工艺(如等阴离子体+光氧催化的氧化的)或将是设计热点问题。
五、分析方法
含氟有机摆放物物外理需按照有机摆放物物含量、渗透压挑选合理的加工制作加工 ,湿法融合采应用在高渗透压酸碱性有机摆放物物,干法过滤更好低渗透压复杂化有机摆放物物。完成具代表性例屏蔽,搭档加工制作加工 能效果提生清除生产率,为了确保符合标准摆放。企业主应运用产品情况报告,挑选资金必须的技术设备应用细则,也青睐的行业前沿技术设备应用发展趋势,以构建节能减排与资金利润互利互惠。