某半导体芯片厂在种植过程中 中动用硝酸银系显影液液,发生高氧浓度含NOx污废水 ,日加工量50吨。污废水 中含NO2-敢达2000mg/L,且有效氢化物发生器有机质光刻胶化学物质,加工困难程度很高。
2. 废气成份及来历
成像步骤废弃物(最主要的废弃物源)
晶圆拆洗焦化废水
尾气洗涤剂塔排水道
3. 除理加工操作流程
采用了"高等级氧化的+两极微生物处置"多元化加工过程:
嗅氧脱色
:用老化发生的器行成O3,将难化学降解可挥发物溶解为小分子式物资,同時将NO2-被氧化为NO3-。
动物膜体现器(MBR)
:
首个级:星球基地工作环境下污泥脱水甲醇当作碳源,力促反活性污泥发生反应
第二个级:好氧动物膜进步骤降解塑料有机的物
电化工宽度办理
:使用钛基涂覆电级,依据电解设备反应彻彻底底分解的残渣生态破坏物。
4. 既定成果
NOx总氮调至8mg/L左右
COD维持在30mg/L已内
污水中水回用率达60%
装置正常运行耗电率抑制在3.5kWh/吨水,较过去加工节能减排20%。