半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
建设项目底色
该工厂为全球性先进的半导体材料首测工厂,最靠近珠半圆各地,通常制定精致鑫霖环保芯片的划区和装封测试测试。可能内地环保性想要严谨,工厂而定制定污水零尾气排放建筑业务。业务于2020年启动的,2024年6月建设动工,清理总量为200吨/日,总资金约2000万是。
废水处理工艺基本成分及收入
本次依据划区污水有着下列特殊性:
高含量氟化物,注意出于晶圆分割后的清理道工序,氟阴离子含量高达到150-200mg/L
包含的纳米技术级硅粉颗粒状,孔径多在100-500nm互相
可挥发负担较高,COD在500-800mg/L
所含氢化物发生器巨资属如铅、镉等
水的电导率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
补救工艺程序流程程序流程
为推动零废气任务,流程设置重点注重工业废水进行分类抽取和资原回收公司:
焦化废水各类回收程序
:将含氟生产工业废水与另外生产工业废水独立抽取
物理化学沉淀物中除氟
:所采用二级钙盐乳浊液法,配合默契高效能乳浊液池
高级的氧化物治理
:臭氧老化促使被氧化溶解难办理可挥发物
膜浸提体系
:进行DTRO碟管式反渗透膜工作会更,原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 7的倍数为10倍
多效蒸发晶粒
:MVR机液体再挤压化掉器处理浓水
缺水软件系统
:将晶体盐干燥处理后是 化学工业副车辆外售
净化处理体验
系统的使用大数据展现:
氟化物删去率>99.9%,冒水氟铁离子<1mg/L
COD总除掉率>98%,冒水COD<20mg/L
水的资源收购 率>95%,仅所产生极少量心得盐
年可收集高茶叶品质中水回用水约七万吨
成果盐色度达到了化工业级标准规范,保证 物资化借助
项目流程不改变了生活污水零摆放,还根据市场收集造就了约80万余元/年的上限受益。