半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
工程情况
该的企业处在深圳省郑州市,最主要长期从事品质半导体集成ic集成ic的封口试验,日排出口废储水量约200吨。鉴于生产加工阶段中用到多重催化中和剂,废污水成份麻烦,带有高氧化还原电位铜、镍等血本属同时环氧漆树脂材料、光刻胶等可挥发污染问题物。的企业固有正确处理基础设施不了无法最新信息排出口标,急要更新整改。
污水成分表及起源
电镀工艺工业废水
:由来于鑫霖环保芯片引脚镀膜制作工艺,包含铜、镍、锡等巨资属化合物,pH值下跌大。
可挥发生产废水
:主要出自封裝胶应用、光刻施工工艺,有效氯化橡胶漆光敏树脂、异丙醇、异丙醇等有机质溶液。
酸性化工废水
:导致于晶圆清晰和蚀刻工步,内含氢佛酸、氢阳极氧化钠、氢阳极氧化钠等。
整理制作工艺操作流程
预整理时期
酸碱性中合
:实现加量控制系统调理pH至6-9,制止后继操作专用设备侵蚀。
水泥混凝土积累
:加药PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),弄掉悬停物和部份天价属。
主导处置第一阶段
高端阳极氧化
:采用了Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)分解掉难化学降解有机的物,COD出掉率达70%以内。
膜净化
:反侵入膜(UF)+反侵入(RO)三人组合鑫霖环保,进一部挪用巨资属和降解性生物碳物。
高度正确处理阶段性
阴阳离子互相交换
:帮着对於铜、镍铝离子,提高认识水流高价属成分降到0.5mg/L。
生物炭吸收
:充当最后保障机制,除去留下少量可挥发物。
终究效率
经补救后,满水后水源到达《电子器材工业园水水污染源释放标准的》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收利用率提高至60%,年厉行节约水总成本约80万美金。