活动背景图案
某门头光电器件制作业客户地属苏南型地,重点产量晶圆和基带芯片。在产量步骤中,晶圆割切和cnc精密机械加工阶段中,制造大批打磨液生产废水,日访问量环境污染物量约50吨。是由于生产废池里包含的高密度浮窗物、复合阳离子及有机的增加剂,真接环境污染物会对条件有严峻环境污染,客户急需要开发非常专业进行处理服务设施。
废液物质及源
精磨液生活污水大部分来原于晶圆制作加工中的化学反应机械装备镜面抛光(CMP)生产工序,大部分污染破坏物比如:
悬浮物粒状物
:二腐蚀硅、腐蚀铝等考虑粉末,颗粒直径在0.1-1μm,质量浓度高达mg2000mg/L。
塑料化合物
:铜、铁、锌等,来自五湖四海cnc精密机械加工垫偏磨及晶圆外表面材料层,铜铁离子氨水浓度约50mg/L。
巧妙移除剂
:包含表皮亲水性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸性性物质
:pH值浮动大,基本在2-11之前。
进行处理新工艺注意事项
对电镀废水性能指标,采用了“预清理+生物化学+纵深清理”结构技艺:
调整池
:匀衡水体出水量,修改碱酸自动调节pH至一般的中性。
水泥混凝土奠定
:加药PAC(配位聚铝)和PAM(聚丙酰胺),弄掉悬浮物物和固体,沉降后SS弄掉率>90%。
崔化氧化的
:选用Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)生物降解有机的插入剂,COD避开率达60%。
生物技术办理
:MBR膜生物学不良催化反应器进每一步分解已满巧妙物,COD低于100mg/L下面的。
阴阳离子互转
:常用聚酯树脂吸出铜阴阳离子,冒水铜占比<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭滤出
:有效确保出水出水使水变,达成《污水储存合理废气排放准则》(GB8978-1996)3级准则。
然后使用效果
设计进行平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。
使用率达40%,超过未达标摆放,年削减电镀废水摆放1.7万吨。
治理 的成本约15元/吨,远小于制造业平均水平。